W 1972
Julian Auleytner, Zuzanna Liliental oraz
Elżbieta Mizera zapoczątkowują w Zakładzie Rentgenografii i Rentgenoskopii LB-1 Instytutu Fizyki Polskiej Akademii Nauk badania materiałów półprzewodnikowych metodami transmisyjnej mikroskopii elektronowej. W rok później zostaje oddany do użytku transmisyjny mikroskop elektronowy
JEM 200A a w następnym roku 1974 ma miejsce zamontowanie do kolumny mikroskopu i uruchomienie rentgenowskiego spektrometru energorozdzielczego. W 1975 w
JEOL News ukazuje się praca o zastosowaniu tego spektrometru do wyznaczenia składu chemicznego wydzieleń występujących na dyslokacjach i błędach ułożenia w kryształach ZnTe.
W 1989 roku ma miejsce instalacja mikroskopu
JEM 2000EX , zaś w następnym roku zostają wykonane pierwsze zdjęcia wysokorozdzielcze, za pomocą tego mikroskopu, dla kryształów krzemu. Dzięki nieprzerwanej pracy mikroskopu wykonano ponad 100 tyś. zdjęć i przebadano kilka tysięcy próbek dzięki czemu opublikowano setki artykułów naukowych. Od września 2011 roku dzieki Programowi Operacyjnemu Innowacyjna Gospodarka w ramach Zespołu Mikroskopii Elektronowej powstała Pracownia Mikroskopii Elektronowej wyposażona w transmisyjny mikroskop elektronowy
Titan-Cubed 80-300 oraz dwuwiązkowy mikroskop skaningowy SEM/FIB HELIOS 600.
